一种刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于光刻技术领域，具体公开了一种刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统。其中刀口结构由金属制成，且所述刀口结构包括一体成型的刀片和刀架，所述刀片的一侧设置有刃口，所述刀架围设在所述刀的其余侧。可动狭缝装置包括上述的刀口结构，光刻系统包括上述的可动狭缝装置。本实用新型专利技术公开的刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统，能够避免可动狭缝装置运行过程中刀片产生飞刀，提高可动狭缝装置及光刻系统的运行稳定性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统
本技术涉及光刻
，尤其涉及一种刀口结构、可动狭缝装置及光刻系统。
技术介绍
由于极大规模集成电路的发展，光刻技术从接触式曝光逐渐过渡到投影式曝光，同时伴随着光刻分辨率的逐渐提高，曝光系统的数值孔径也不断变大，这使得光刻投影物镜的制造变得越来越复杂。为了降低光刻投影物镜的设计难度，现代光刻机普遍采用步进扫描的方式来实现高分辨率下的大视场曝光。而在一个曝光视场的起始与终止位置，部分照明视场的位置位于曝光视场之外，超出曝光视场范围的照明视场会照射到相邻曝光视场上。而为了在扫描曝光过程中限定掩模面照明视场大小及其中心位置，避免成像光束对曝光视场以外的区域曝光。则需利用可动狭缝装置中的扫描刀片与掩模同步运动进行动态拦光，并同时利用其非扫描刀片来限定掩模面的照明视场大小和瞬时照明的中心位置。公知的扫描狭缝单元通常包括四个刀口结构，每个刀口结构包含刀架和刀片，两者通过拉伸弹簧、簧片压紧或者柔性螺钉紧固等方式实现一定程度的柔性固定。该四个刀片两两相对设置，组成两组刀片对。每个刀片上设置有驱动该刀片运动的驱动装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刀口结构，其特征在于，所述刀口结构由金属制成，所述刀口结构包括一体成型的刀片(1)和刀架(2)，所述刀片(1)的一侧设置有刃口(12)，所述刀架(2)围设在所述刀片(1)的其余侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种刀口结构，其特征在于，所述刀口结构由金属制成，所述刀口结构包括一体成型的刀片(1)和刀架(2)，所述刀片(1)的一侧设置有刃口(12)，所述刀架(2)围设在所述刀片(1)的其余侧。


2.根据权利要求1所述的刀口结构，其特征在于，所述刀架(2)包括分别设置在所述刀片(1)相对两侧的两个支撑部(21)，且所述支撑部(21)与所述刀片(1)垂直连接，两个所述支撑部(21)之间设置有连接部(22)。


3.根据权利要求2所述的刀口结构，其特征在于，其中一个所述支撑部(21)远离所述刀片(1)的一侧设置有安装部(23)，所述安装部(23)上开设有第一安装孔(231)，另一个所述支撑部(21)远离所述刀片(1)的一侧设置有加强部(24)，所述安装部(23)与所述加强部(24)均沿远离所述刀片(1)的方向延伸。


4.根据权利要求2所述的刀口结构，其特征在于，所述支撑部(21)和/或所述连接部(22)上开设有减重孔(25)和/或减重槽(26)。


5.根据权利要求1所述的刀口结构，其特征在于，所述刀片(1)和/或所述刀架(2)内设置有供冷却介质通过的流道(3)。


6.根据权利要求5所述的刀口结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵仁洁，杨超，王泽锟，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31