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基于外扶式气/气两相复合的立式直线基准方法与装置制造方法及图纸
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下载基于外扶式气/气两相复合的立式直线基准方法与装置的技术资料
文档序号:2532698
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基于外扶式气/气两相复合的立式直线基准方法与装置属于精密仪器与测量技术领域;是在气浮导套的外部相邻两侧面处沿X向和Y向分别构建与主工作气膜支承方向相反的两个辅助气膜,并与主工作气膜共同作用于导向气浮板两侧;导向气浮板工作面与内侧主气浮导轨和...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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