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差动式石英晶片机械量传感器制造技术
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文档序号:2532429
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本实用新型公开了一种可高精度地测试力、压力、位移、加速度等机械量的差动式石英晶片机械量传感器。它由受力柱、底座、预紧装置、固定框架、两个或多个石英晶片构成。在测试外力时,石英晶片受力后,频率分别改变,通过测试石英晶片的频率差,实现对外力的测...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。
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