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差动式石英晶片机械量传感器制造技术

技术编号:2532429 阅读:208 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种可高精度地测试力、压力、位移、加速度等机械量的差动式石英晶片机械量传感器。它由受力柱、底座、预紧装置、固定框架、两个或多个石英晶片构成。在测试外力时,石英晶片受力后,频率分别改变,通过测试石英晶片的频率差,实现对外力的测试,传感器结构简单,测试精度高。(*该技术在2005年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种机械量传感器,特别是一种由石英晶片为敏感元件的机械量传感器。现在市场上出售的用石英晶片作敏感元件的机械量传感器有两种一种是单个石英晶片作为敏感元件,该种传感器不能解决由石英晶体本身及传感器结构所产生的迟滞,因而在测试机械量时精度较低。另一种传感器采用双石英晶片或多石英晶片作为敏感元件,但其中仅一只晶片感受被测参数,其它晶片不感受被测参数。这样虽可以解决温漂,仍无法解决传感器的迟滞,因而仍不能实现对被测参数的高精度测试。本技术的目的是提供一种能够高精度地测试被测参数的机械量传感器。为达上述目的,本技术提出一种差动式石英晶片机械量传感器。它包括有受力柱、力传递体、预紧装置、底座、固定框架、两个或多个石英晶片,其中所述的受力柱与带有型槽的力传递体的一端相连;带有型槽的底座与设有预紧装置的固定框架相连;所述的两个或多个石英晶片位于底座与力传递体之间,经型槽固定。为了排除力传递体的挠动,提高测试精度,可在受力柱与力传递体相连端之间增加一个抗挠度连杆。为了保证外力定向、抗偏载传递,消除干扰因素,在受力柱与固定框架之间可以连结一个导向装置。当外力作用于传感器的受力柱时,通过力传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种差动式石英晶片机械量传感器,它包括有受力柱(1)、力传递体(2)、预紧装置(3)、底座(4)、固定框架(7)、两个或多个石英晶片(5),其特征在于:所述的受力柱(1)与带有型槽(6)的力传递体(2)的一端相连;带有型槽(10)的底座(4)与设有预紧装置(3)的固定框架(7)相连;所述的两个或多个石英晶片(5)位于底座(4)与力传递体(2)之间,经型槽(10、6)固定。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李平文玉梅
申请(专利权)人:重庆大学
类型:实用新型
国别省市:51[中国|四川]

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