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本发明涉及一种兰姆波谐振器结构，包括衬底、单晶薄板以及叉指电极，所述衬底上表面具有具有空气腔，所述单晶薄板覆盖在所述衬底上并密封住所述空气腔，所述单晶薄板上表面设有叉指电极。采用表面空腔牺牲层结构，避免体硅工艺的可靠性问题，相比传统的SAW...
该专利属于北京航天微电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京航天微电科技有限公司授权不得商用。

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