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本发明提供了一种不易结瘤的ITO溅射靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将脱脂后的ITO靶坯依次进行第一烧结和第二烧结，冷却后得到不易结瘤的ITO溅射靶材；所述第一烧结和第二烧结均在氧气通入的条件下进行...
该专利属于福建阿石创新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建阿石创新材料股份有限公司授权不得商用。

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