温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及压电传感器阵列，特别是一种集成微型压电谐振式传感器阵列的芯片。旨在解决已有压电传感器阵列灵敏度较低、精度较差、检测复杂、干扰较大等问题。本阵列芯片包含至少两个压电谐振片２及其上侧片面上的微电极４，其特征在于有共用的一个绝缘的基片１...
该专利属于莫志宏所有，仅供学习研究参考，未经过莫志宏授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。