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一种用于可移动测量目标，特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中一种借助光源（２）产生的测量光束（６）被测量目标（１０）反射到一个位置灵敏光探测器（１２）上，借助该光探测器实施一个对应于测量目标（１０）位置的信息转换。本发明的任务是构...该专利属于海德堡显微技术仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海德堡显微技术仪器股份有限公司授权不得商用。
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一种用于可移动测量目标，特别是反光镜或反光器的光学位置确定的方法。其中一种借助光源（２）产生的测量光束（６）被测量目标（１０）反射到一个位置灵敏光探测器（１２）上，借助该光探测器实施一个对应于测量目标（１０）位置的信息转换。本发明的任务是构...