下载基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法的技术资料

文档序号:2528047

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本发明涉及传感器技术领域,特别是一种基于波登管(又叫弹簧管)作为换能器的光纤光栅传感器及方法。主要包括一个波登管压力换能器,一个光纤光栅悬臂梁,光纤耦合器,传输光纤,封装外壳及各部件的紧固定位器件、密封器件。在介质压力的作用下,弹簧管在内部...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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