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本发明公开了一种环形微波等离子体谐振腔，涉及微波等离子体谐振腔领域，包括：谐振腔壳体，其内设有一腔体；第一截止波导，其固定在谐振腔壳体的一端，第一截止波导包括一收容于腔体内的筒体，筒体与谐振腔壳体形成一环形空腔，且筒体上设有多条狭缝；第二截...该专利属于烽火通信科技股份有限公司;烽火藤仓光纤科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烽火通信科技股份有限公司;烽火藤仓光纤科技有限公司授权不得商用。