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本发明提供一种缺陷检测方法，提供待检测图形的信息文件以及待检测图形的参考图形；根据待检测图形的信息文件搜索该待检测图形的图像；将参考图形生成特征轮廓图；将参考图形的特征轮廓图与所述待检测图形的影像进行匹配对比并重叠显示，抓取图形差异，本发明...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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