下载一种版图特征提取的超参数确定方法、装置及介质的技术资料

文档序号:25271503

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本发明公开了一种版图特征提取的超参数确定方法、装置及介质,方法包括:按照初始尺寸的采样窗口分别对版图上的N个样本点进行采样,对应获得N幅版图切片,N个样本点对应有N组属性参数;根据单像素物理尺寸分别对所述N幅版图切片进行特征提取,以转化为N...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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