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缩减掩模单元片材部的变形量的方法、框架一体型掩模及其制造方法技术
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文档序号:25262434
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本发明涉及缩减掩模单元片材部的变形量的方法、框架一体型掩模及其制造方法。根据本发明的缩减掩模单元片材部的变形量的方法,该方法在制造框架一体型掩模时用于缩减框架的掩模单元片材部的变形量,所述框架一体型掩模包括形成有多个掩模图案的多个掩模和具有...
该专利属于悟勞茂材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过悟勞茂材料公司授权不得商用。
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