下载缩减掩模单元片材部的变形量的方法、框架一体型掩模及其制造方法的技术资料

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本发明涉及缩减掩模单元片材部的变形量的方法、框架一体型掩模及其制造方法。根据本发明的缩减掩模单元片材部的变形量的方法,该方法在制造框架一体型掩模时用于缩减框架的掩模单元片材部的变形量,所述框架一体型掩模包括形成有多个掩模图案的多个掩模和具有...
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