下载一种高效率自动微蚀系统的技术资料

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本实用新型涉及一种高效率自动微蚀系统,包括机架、设于机架用于传送基材的传送装置、沿传送装置的传送方向依次设置的测厚装置以及喷淋装置;测厚装置包括第一安装架,第一安装架上设有对基材进行厚度检测的X射线测厚仪本体;喷淋装置包括第二安装架,第二安...
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