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本申请公开了一种光探针耦合装置和系统。该光探针耦合装置包括：两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台；所述两个耦合机构对称设置在所述载物台的两侧；所述耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对所述待测芯片传输光信号的光纤，所述光纤...
该专利属于苏州极刻光核科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州极刻光核科技有限公司授权不得商用。

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