【技术实现步骤摘要】
光探针耦合装置和系统
本申请涉及芯片检测
，具体而言，涉及一种光探针耦合装置和系统。
技术介绍
光学器件作为一种精密元器件，对测试精度要求极高。在光学器件的测试过程中，光的耦合是一大难点，存在效率低，损耗大和自动化程度不高的问题。而对于样品阶段的器件，由于设计迭代快，结构变化大，无法使用预制的夹具，每次都需重新耦合。若采用人工耦合，需要消耗大量人力成本，且人工耦合受操作人员的经验和主观判断的影响，会引入一定量的误差，导致结果的不可重复性。针对相关技术中无法稳定地对芯片进行光的耦合监测的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本申请的主要目的在于提供一种光探针耦合装置和系统，以解决相关技术中无法稳定地对芯片进行光的耦合监测的问题。为了实现上述目的，本申请提供了一种光探针耦合装置，包括两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台；所述两个耦合机构对称设置在所述载物台的两侧；所述耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对所述待测芯片传输光信号的光纤，所述光纤...
【技术保护点】
1.一种光探针耦合装置，其特征在于，包括两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台；/n所述两个耦合机构对称设置在所述载物台的两侧；/n所述耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对所述待测芯片传输光信号的光纤，所述光纤夹持在所述光纤夹具上端，所述光纤夹具连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述光纤夹具以多自由度移动，并使所述光纤接触或远离所述待测芯片。/n
【技术特征摘要】
1.一种光探针耦合装置，其特征在于，包括两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台；
所述两个耦合机构对称设置在所述载物台的两侧；
所述耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对所述待测芯片传输光信号的光纤，所述光纤夹持在所述光纤夹具上端，所述光纤夹具连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述光纤夹具以多自由度移动，并使所述光纤接触或远离所述待测芯片。
2.根据权利要求1所述的光探针耦合装置，其特征在于，所述多自由度驱动座包括第一驱动机构、第二驱动机构、第一滑块、第二滑块、第一导轨和第二导轨；
所述第一导轨和所述载物台的下端均设置在工作端面上，所述第一滑块滑动连接在所述第一导轨上，所述第一驱动机构分别与所述第一导轨、所述第一滑块连接，以使所述第一驱动机构驱动所述第一滑块在所述第一导轨上滑动；
所述第二导轨的下端固定在所述第一滑块上，所述第二滑块滑动连接在所述第二导轨上，所述第二驱动机构分别与所述第二导轨、所述第二滑块连接，以使所述第二驱动机构驱动所述第二滑块在所述第二导轨上滑动；
所述光纤夹具连接在所述第二滑块上，所述第一导轨与所述第二导轨不平行。
3.根据权利要求2所述的光探针耦合装置，其特征在于，所述第一导轨与所述第二导轨相垂直。
4.根据权利要求2所述的光探针耦合装置，其特征在于，所述第一导轨指向所述载物台，以使所述第一滑块在所述第一驱动机构的驱动下...
【专利技术属性】
技术研发人员：巫海苍，周颖聪，宋一品，梁寒潇，
申请(专利权)人：苏州极刻光核科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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