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保持装置及保持装置的制造方法制造方法及图纸
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下载保持装置及保持装置的制造方法的技术资料
文档序号:25234273
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一种保持装置及保持装置的制造方法,该保持装置抑制由供电连接构件的电阻值的偏差引起的发热电阻器的发热量的偏差。保持装置具备:陶瓷构件,由以氮化铝为主要成分的陶瓷烧结体形成;金属制的发热电阻器,配置于陶瓷构件的内部;与发热电阻器接触的导电性的供...
该专利属于日本特殊陶业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本特殊陶业株式会社授权不得商用。
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