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一种硅片背伤处理装置制造方法及图纸
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文档序号:25223670
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本实用新型涉及一种硅片背伤处理装置,包括喷砂腔体、往复运动机构、输送皮带线和砂浆液体回路,喷砂腔体为封闭的腔室,往复运动机构设置在喷砂腔体上部,输送皮带线设置在喷砂腔体下方;砂浆液体回路包括砂浆槽,供给泵和砂浆喷头,砂浆槽与砂浆喷头通过供给...
该专利属于天津环博科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津环博科技有限责任公司授权不得商用。
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