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本实用新型提供了一种多片式卡片循环送料设备，所述多片式卡片循环送料设备包括本体、上下料组件、夹料组件以及推料组件，所述本体上设置有工作台面，所述上下料组件连接于所述工作台面上，所述上下料组件包括并列设置的上料部以及下料部，所述夹料组件连接于...
该专利属于深圳泰德半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳泰德半导体装备有限公司授权不得商用。

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