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本实用新型公开了一种可拆卸蚀刻多片碳化硅蚀刻工装治具，包括支撑柱A和支撑柱B，支撑柱A和支撑柱B之间通过工装固定块连接固定，工装固定块上设置有托架，托架的下端面安装有限位杆，托架通过限位杆插入工装固定块内并采用紧固机构固定在工装固定块上，紧...
该专利属于福建北电新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建北电新材料科技有限公司授权不得商用。

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