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本实用新型公开了一种晶圆湿制程设备用晶圆上下料槽装置，包括槽壳体，所述槽壳体内具有供放置晶圆的内腔，所述槽壳体上设有挂架机构，通过所述挂架机构提取或下放挂篮，所述挂篮用于放置晶圆，所述槽壳体上设有供驱动所述晶圆往复作动以进行上下料的送料驱动...
该专利属于上海新阳半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新阳半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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