下载光致抗蚀剂去除剂组合物的技术资料

文档序号:25196730

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及组合物,其基本上由以下物质组成:选自樟脑磺酸和结构(I)的苯磺酸的磺酸组分,其中R为H或C‑1至C‑18正烷基,草酸、溶剂组分,所述溶剂基本上由有机溶剂组分或有机溶剂组分与水的混合物组成,其中有机溶剂组分由约100wt%至约85w...
该专利属于默克专利股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过默克专利股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。