专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
深圳市晶相技术有限公司
>
一种半导体设备制造技术
>技术资料下载
下载一种半导体设备的技术资料
文档序号:25187841
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提出一种半导体设备,该半导体设备包括:过渡腔体,设置在生长腔体之前;至少一载台,设置在所述过渡腔体内,所述至少一载台允许放置至少一个托盘,所述托盘允许放置基板,所述至少一载台允许上升和/或下降;冷却板,设置在所述过渡腔体内,所述冷...
该专利属于深圳市晶相技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市晶相技术有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。