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一种炉体长晶数据多重备份方法，属于晶体制备用炉体的工艺参数处理技术。本发明采集本地炉体长晶数据源，将数据分离为炉体温度数据、长晶分析数据，炉体温度数据存储于炉体温度数据库，长晶分析数据存储于长晶分析数据库，炉体温度数据库中的数据、长晶分析数...该专利属于哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司授权不得商用。