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公开了测量装置、曝光装置和制造物品的方法。本发明提供了一种测量物体的位置的测量装置，该测量装置包括：被配置成用照明光照亮物体的照明系统，被配置成在被配置成检测物体的图像的光电转换器件上形成来自物体的检测光的图像的图像形成系统，以及分离系统，...
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