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基于超精密回转扫描的大口径非球面测量装置与方法属于宏观轮廓测量技术，该装置包括超精密气浮转台、精密转角及测角系统，超精密直线气浮导轨、测长装置和倾斜度测量系统；倾斜度测量系统包括线偏振Ｈｅ－Ｎｅ激光器或半导体激光器、衍射元件、扫描头和图像接...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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