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公开了一种用于检测被安装在辅助座上的激光硬模的温度受控的系统。该检测系统包括具有受电机驱动的平移平台的基座。平移平台包括具有被安装在基部上的两级温度控制系统的第一检测位置。温度控制系统包括热电冷却器和用于在循环块中循环冷却／加热流体的流体系...
该专利属于菲尼萨公司所有，仅供学习研究参考，未经过菲尼萨公司授权不得商用。

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