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基于ＰＶＤＦ的轻敲式高灵敏度ＳＰＭ测头及测量方法，其特征是以ＰＶＤＦ压电薄膜为振动梁、以钨探针为扫描探针；振动梁设置为具有弯曲弧度的简支梁，振动梁的左右两端通过夹持结构分别固定在相对设置的两侧压电驱动器的前端，两侧压电驱动器的后端分别固定在...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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