【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及纳米测量装置，更具体地说是一种可用于构成扫描探针显微系统测头，使系 统实现纳米微观形貌测量中垂直方向上纳米分辨力的反馈控制；可构成微纳米三坐标测量机 的纳米定位探头，实现三坐标测量机探头的纳米定位；可用于构成扫描探针显微系统以实现 对柔软易碎试样(如蛋白质分子等生物材料表面)、具有陡峭台阶表面特征的试样(如半导 体硅微器件、微机电设备等)进行纳米级分辨率的非破坏性微观表面形貌测量；以及用于构 成微纳米三坐标测量机探头以实现微机电器件(MEMS)、微机械零件的测量。
技术介绍
近十年来，随着微半导体器件、MEMS、纳米器件等对表面微观形貌测量的高精度要求， 以及DNA、蛋白质分子等生物材料表面测量的非破坏性要求，要求测量仪器不仅具有纳米 级的分辨率，还要具有尽可能小的测量力。常用的触针式轮廓仪是一种广泛应用于机械表面测量、简单且可靠的精密测量仪器，其 测量范围可达到数十毫米，但它的垂直分辨率只能达到数十纳米，且测量过程中触针与被测 表面连续接触，横向测力大，易给表面造成划伤，不适合于软材料及具有陡峭微观结构的表 面测量。共焦显微镜等光学测量系统，虽然...
【技术保护点】
基于ＰＶＤＦ的轻敲式高灵敏度ＳＰＭ测头，其特征是以ＰＶＤＦ压电薄膜为振动梁（６）、以钨探针为扫描探针（７）；所述振动梁（６）设置为具有弯曲弧度的简支梁，振动梁（６）的左右两端通过夹持结构（１０）分别固定在相对设置的两侧压电驱动器（４）的前端，两侧压电驱动器（４）的后端分别固定在各自的悬臂梁（３）上，悬臂梁（３）呈单端悬置设置在测头架（１）上；所述扫描探针（７）固定设置在振动梁（６）下表面的中心位置上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄强先，侯茂盛，杨朋桢，罗涛，张瑜，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：34[中国|安徽]
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