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大量程线位移光栅数显测量仪制造技术
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文档序号:2518048
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本实用新型是一种线位移光栅数显测量仪。属于对大量程光栅数显测量仪的改进,特别是对其测量长度给以任意扩展。其特征在于以单根短标尺光栅测量长的或是超长的线位移,选择标尺光栅运动,采用多个读数头递推互锁读数。本实用新型较好地解决了增大光栅位移数显...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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