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本发明提供了一种选择衍射级数目的方法，所述衍射级数目用于在光学计量中为二维结构产生模拟的衍射信号，通过使用第一衍射级数目和二维结构的假想轮廓产生第一模拟衍射信号。使用第二衍射级数目和与产生所述第一模拟衍射信号相同的假想轮廓以产生第二模拟衍射...
该专利属于音质技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过音质技术公司授权不得商用。

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