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本发明提供一种真空泵装置，能够减小真空泵的设置空间并且能够可靠地重启。真空泵装置(1)具备：彼此相对配置并且是罗茨转子或者爪式转子的一对泵转子；固定有一对泵转子并且沿铅垂方向延伸的一对轴(8)；使一对泵转子旋转的电动机(10)；固定于一对轴...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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