真空泵装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种真空泵装置，能够减小真空泵的设置空间并且能够可靠地重启。真空泵装置(1)具备：彼此相对配置并且是罗茨转子或者爪式转子的一对泵转子；固定有一对泵转子并且沿铅垂方向延伸的一对轴(8)；使一对泵转子旋转的电动机(10)；固定于一对轴(8)并且彼此啮合的一对定时齿轮(25)；配置于一对泵转子的上方的固定侧轴承；以及支承轴(8)的自由侧轴承。

【技术实现步骤摘要】
真空泵装置
本专利技术涉及一种真空泵装置。
技术介绍
已知一种用于半导体制造和/或有机EL、液晶等平板制造的真空泵(例如，生产废气的排气用的真空泵、高排气速度真空泵等)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本实开平6-53793号公报近年，在半导体制造和/或平板制造中，伴随半导体的高性能化和/或面板的大型化，导入处理室内的生产废气的流量增加，但是在这样的现状下，也需要将处理室内的压力保持为某种恒定的压力。鉴于上述的必要性，作为排出生产废气的真空泵，需要排气速度较高的真空泵，真空泵的尺寸也大型化。然而，由于真空泵的大型化，半导体制造工厂和/或平板制造工厂中的真空泵装置的设置空间增加，从而设置空间的确保成为问题。为了减小设置空间，考虑采用竖直配置的真空泵装置。然而，如专利文献1所述，当将固定侧轴承相对于泵转子配置于下侧时，由于排出的气体的冷凝而生成的固体物附着/堆积于泵转子和泵壳体的间隙，进而，在泵停止时，真空泵装置温度下降，从而泵转子对上述固体物进行过度压缩，其结果是，阻碍了泵转子的旋转，真空泵装置有可能无法重新启动。
技术实现思路
因此，本专利技术提供一种能够减小真空泵的设置空间并且能够可靠地重启的真空泵装置。在一方式中，提供一种真空泵装置，具备：一对泵转子，该一对泵转子彼此相对配置，并且是罗茨转子(日文：ルーツロータ)或者爪式转子(日文：クローロータ)；一对轴，该一对轴固定有所述一对泵转子，并且沿铅垂方向延伸；电动机，该电动机使所述一对泵转子旋转；一对定时齿轮，该一对所述定时齿轮固定于所述一对轴，并且彼此啮合；固定侧轴承，该固定侧轴承配置于所述一对泵转子的上方；以及自由侧轴承，该自由侧轴承和所述固定侧轴承一起支持所述轴。在一方式中，所述电动机配置于所述一对泵转子的上方。在一方式中，所述真空泵装置具备与所述电动机电连接的运转控制装置，所述运转控制装置在使所述真空泵装置的运转完全停止之前，通过反复进行所述电动机的启动和停止来执行所述泵转子的旋转和停止动作。在一方式中，所述运转控制装置以规定的时间间隔反复进行所述电动机的启动和停止。一方式中，具备：泵壳体，该泵壳体收容有所述一对泵转子；以及温度传感器，该温度传感器安装于所述泵壳体的外表面，所述运转控制装置基于由所述温度传感器测定出的所述泵壳体的温度变化，反复进行所述电动机的启动和停止。在使竖直配置的真空泵装置的运转停止的情况下，轴由于其温度下降而以配置于泵转子的上方的固定侧轴承为基准向上收缩。因此，泵转子的下表面与泵壳体之间的横向间隙变大，泵转子不会压溃固体物。其结果是，不会阻碍真空泵装置的重启。附图说明图1是示出了真空泵装置的一实施方式的剖视图。图2是示出了轴承装置的一实施方式的剖视图。图3是示出了在轴承装置的内部循环的润滑油的图。图4是示出了旋转圆筒的立体图。图5是旋转圆筒的放大图。图6是托盘的放大图。图7的(a)和图7的(b)是示出了接触密封件的图。图8是示出了真空泵装置的其他实施方式的图。图9的(a)和图9的(b)是用于对竖直配置的真空泵装置可能产生的问题进行说明的图。图10的(a)和图10的(b)是用于对图8所示的实施方式中的真空泵装置的效果进行说明的图。符号说明1真空泵装置2进气口4排气口5泵壳体6a、6b、6c、6d泵转子8轴10转子12运转控制装置13轴承(自由侧轴承)15轴承装置20、21轴承(固定侧轴承)25定时齿轮26齿轮罩30电动机转子31电动机定子32电动机框架35气体流路40轴承外壳41垫片42固定件43密封部件45旋转圆筒45a外周面45b上端45c下端46轴承壳体50侧罩50a贯通孔51壳体部件51a上端壁52轴承支承部件52a流通孔55活塞环56内周壁57外周壁58底壁59贯通孔60弯曲部61锥形部64外壳主体65托盘65a贯通孔66内侧环状突起67外侧环状突起68连接部位70斜坡70a上端部70b下端部70c提升面71内侧圆筒部72外侧圆筒部73环形圈部74压力调节孔75内侧向下肋75a下端76中间侧向下肋76a下端77外侧向下肋77a下端80内侧向上肋80a通过部81外侧向上肋81a通过部85、86接触密封件90水冷套100轴承支承部件具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。另外，在以下进行说明的附图中，对于相同或者相当的构成要素，标注相同的符号而省略重复的说明。图1是表示真空泵装置1的一实施方式的剖视图。如图1所示，真空泵装置1是以竖立姿势配置的立式真空泵装置。在图1所示的实施方式中，真空泵装置1放置在地板FL上。真空泵装置1是以高速进行旋转的泵装置。真空泵装置1竖直配置以减小其设置空间。真空泵装置1具备：彼此相对配置的一对泵转子(在本实施方式中为罗茨转子)6a、6b、6c、6d；固定有上述泵转子6a～6d的一对轴(驱动轴)8；收容有泵转子6a～6d的泵壳体5；以及经由轴8使泵转子6a～6d旋转的电动机10。在图1所示的实施方式中，泵转子6a～6d的构造不限定于罗茨转子。泵转子6a～6d也可以是爪式转子或螺杆转子。真空泵装置1具备用于吸入气体的进气口2和用于排出气体的排气口4。通过真空泵装置1的运转，气体通过进气口2被吸入真空泵装置1的内部，并从排气口4排出(参照图1的箭头)。进气口2和排气口4设于泵壳体5。泵壳体5具有形成于其内部的气体流路35。被泵转子6a～6d压缩了的气体通过气体流路35从排气口4排出。在图1中，仅描绘了一对泵转子6a～6d中的一方，省略了相反侧的泵转子的图示。仅描绘了一对轴8中的一方，省略了相反侧的轴的图示。在图1中，泵转子的级数为四级，但是泵转子的级数不限定于本实施方式。泵转子的级数可以根据所需的真空度、排气流量等适当选定。在一实施方式中，也可以设置单级泵转子。真空泵装置1具备控制真空泵装置1的运转的运转控制装置12。运转控制装置12和电动机10电连接。运转控制装置12构成为通过电动机10的驱动和停止来控制泵转子6a～6d的旋转和停止动作。轴8在铅垂方向上延伸，并且由轴承13和轴承装置15(更具体地，设于轴承装置15的轴承20、21)支承为旋转自如。轴承13配置于轴8的一端部分(即，下端部分)，轴承装置15本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵装置，其特征在于，具备：/n一对泵转子，该一对泵转子彼此相对配置，并且是罗茨转子或者爪式转子；/n一对轴，该一对轴固定有所述一对泵转子，并且沿铅垂方向延伸；/n电动机，该电动机使所述一对泵转子旋转；/n一对定时齿轮，该一对定时齿轮固定于所述一对轴，并且彼此啮合；/n固定侧轴承，该固定侧轴承配置于所述一对泵转子的上方；以及/n自由侧轴承，该自由侧轴承和所述固定侧轴承一起支持所述轴。/n

【技术特征摘要】
20181228 JP 2018-2473211.一种真空泵装置，其特征在于，具备：
一对泵转子，该一对泵转子彼此相对配置，并且是罗茨转子或者爪式转子；
一对轴，该一对轴固定有所述一对泵转子，并且沿铅垂方向延伸；
电动机，该电动机使所述一对泵转子旋转；
一对定时齿轮，该一对定时齿轮固定于所述一对轴，并且彼此啮合；
固定侧轴承，该固定侧轴承配置于所述一对泵转子的上方；以及
自由侧轴承，该自由侧轴承和所述固定侧轴承一起支持所述轴。


2.如权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，
所述电动机配置于所述一对泵转子的上方。


3.如权利要求1或2...

【专利技术属性】
技术研发人员：长山真己，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP