真空泵装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种真空泵装置，能够减小真空泵的设置空间并且能够可靠地重启。真空泵装置(1)具备：彼此相对配置并且是罗茨转子或者爪式转子的一对泵转子；固定有一对泵转子并且沿铅垂方向延伸的一对轴(8)；使一对泵转子旋转的电动机(10)；固定于一对轴(8)并且彼此啮合的一对定时齿轮(25)；配置于一对泵转子的上方的固定侧轴承；以及支承轴(8)的自由侧轴承。

【技术实现步骤摘要】
真空泵装置
本专利技术涉及一种真空泵装置。
技术介绍
已知一种用于半导体制造和/或有机EL、液晶等平板制造的真空泵(例如，生产废气的排气用的真空泵、高排气速度真空泵等)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本实开平6-53793号公报近年，在半导体制造和/或平板制造中，伴随半导体的高性能化和/或面板的大型化，导入处理室内的生产废气的流量增加，但是在这样的现状下，也需要将处理室内的压力保持为某种恒定的压力。鉴于上述的必要性，作为排出生产废气的真空泵，需要排气速度较高的真空泵，真空泵的尺寸也大型化。然而，由于真空泵的大型化，半导体制造工厂和/或平板制造工厂中的真空泵装置的设置空间增加，从而设置空间的确保成为问题。为了减小设置空间，考虑采用竖直配置的真空泵装置。然而，如专利文献1所述，当将固定侧轴承相对于泵转子配置于下侧时，由于排出的气体的冷凝而生成的固体物附着/堆积于泵转子和泵壳体的间隙，进而，在泵停止时，真空泵装置温度下降，从而泵转子对上述固体物进行过度压缩，其结果是，阻碍了泵转子的旋转，真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵装置，其特征在于，具备：/n一对泵转子，该一对泵转子彼此相对配置，并且是罗茨转子或者爪式转子；/n一对轴，该一对轴固定有所述一对泵转子，并且沿铅垂方向延伸；/n电动机，该电动机使所述一对泵转子旋转；/n一对定时齿轮，该一对定时齿轮固定于所述一对轴，并且彼此啮合；/n固定侧轴承，该固定侧轴承配置于所述一对泵转子的上方；以及/n自由侧轴承，该自由侧轴承和所述固定侧轴承一起支持所述轴。/n

【技术特征摘要】
20181228 JP 2018-2473211.一种真空泵装置，其特征在于，具备：
一对泵转子，该一对泵转子彼此相对配置，并且是罗茨转子或者爪式转子；
一对轴，该一对轴固定有所述一对泵转子，并且沿铅垂方向延伸；
电动机，该电动机使所述一对泵转子旋转；
一对定时齿轮，该一对定时齿轮固定于所述一对轴，并且彼此啮合；
固定侧轴承，该固定侧轴承配置于所述一对泵转子的上方；以及
自由侧轴承，该自由侧轴承和所述固定侧轴承一起支持所述轴。


2.如权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，
所述电动机配置于所述一对泵转子的上方。


3.如权利要求1或2...

【专利技术属性】
技术研发人员：长山真己，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP