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吹扫管、单晶提拉装置及硅单晶的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:25174136
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本发明提供一种吹扫管。吹扫管(5)具备:圆筒部(51),形成为圆筒状,将从腔室(21)的外部导入的非活性气体向硅熔液(M)侧导引;以及凸缘部(52),从圆筒部(51)的外周面朝向外侧以凸缘状突出;在凸缘部(52)的至少一部分,设置有能够由设...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。
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