下载吹扫管、单晶提拉装置及硅单晶的制造方法的技术资料

文档序号:25174136

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本发明提供一种吹扫管。吹扫管(5)具备:圆筒部(51),形成为圆筒状,将从腔室(21)的外部导入的非活性气体向硅熔液(M)侧导引;以及凸缘部(52),从圆筒部(51)的外周面朝向外侧以凸缘状突出;在凸缘部(52)的至少一部分,设置有能够由设...
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