下载双涂覆器流体分配方法的技术资料

文档序号:25163964

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提供一种双涂覆器流体分配方法,所述方法包括:a.捕获被设置在多个电子衬底的XY平面上的多个分配区域的至少一个图像;b.识别与各个分配区域相关联的参考基准;c.基于所识别的参考基准,确定在每一个分配区域处的分配位置;d.在确定所述多个分配区域...
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