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利用二维PSD位置传感器测量矩形导轨直线度的装置制造方法及图纸
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文档序号:2516062
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本实用新型公开了一种利用二维PSD位置传感器测量矩形导轨直线度的装置,包括光学部分、PSD传感器和信号处理电路。光学部分包括光学支架上设置的激光器,激光器的发射端连接有准直装置,在准直装置的照射区设置有PSD传感器,PSD传感器安装在直线矩...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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