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一种非接触激光干涉比较仪，采用临界角法非接触光触针定位，和迈克尔逊干涉测量系统及光电转换数字显示系统，在测量时测头不接触工件表面，对高精度或非金属材料表面进行比较测量时，不会损坏被测表面，同时测量结果可自动显示，测量精度高、操作方便。...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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