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压电性材料基板与支撑基板的接合体以及弹性波元件制造技术
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文档序号:25127925
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在将由铌酸锂等形成的压电性材料基板与设置有氧化硅层的支撑基板接合时,提高接合体的特性。接合体(8、8A)具备:支撑基板(3);压电性材料基板(1、1A),其由选自由铌酸锂、钽酸锂和铌酸锂‑钽酸锂组成的组中的材质形成;以及接合层(7),其将支...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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