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含有分步掺杂下波导层的GaN基激光器及其制备方法技术
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下载含有分步掺杂下波导层的GaN基激光器及其制备方法的技术资料
文档序号:25125564
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一种含有分步掺杂下波导层的GaN基激光器及其制备方法,所述含有分步掺杂下波导层的GaN基激光器由下至上依次包括:N型电极、衬底、下限制层、分步掺杂下波导层、有源区、上波导层、电子阻挡层、上限制层、欧姆接触层和P型电极;其中,所述分步掺杂下波...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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