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本发明题为“背侧金属图案化管芯分割系统和相关方法”。本发明提供了管芯分割系统和相关方法的实施方式，该实施方式可包括：在衬底的第一侧上形成多个管芯，在与衬底的第一侧相对的衬底的第二侧上形成种子层，使用阴影掩模，在种子层上方施加掩模层，在种子层...
该专利属于半导体元件工业有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过半导体元件工业有限责任公司授权不得商用。

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