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本发明涉及背面金属图案化管芯切单系统及相关方法。本公开提供了切单衬底中包括的多个管芯的方法的实施方式，其可以包括：在衬底的第一侧上形成多个管芯；在衬底的第二侧上形成背面金属层；在所述背面金属层上方施加光刻胶层；沿所述衬底的管芯划道将所述光刻...
该专利属于半导体元件工业有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过半导体元件工业有限责任公司授权不得商用。

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