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本发明题为“背面金属图案化管芯切割系统和相关方法”。切割包括在衬底中的多个管芯的方法的实施方式可包括：在衬底的第一侧面上形成多个管芯；在衬底的第二侧面上形成背面金属层；在背面金属层之上施加聚合物层；以及形成完全穿过聚合物层且部分地穿过一定厚...
该专利属于半导体元件工业有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过半导体元件工业有限责任公司授权不得商用。

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