下载一种光刻版表面损伤修复溶液及其应用的技术资料

文档序号:25122590

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本发明涉及光刻板清洗领域,具体涉及一种光刻版表面损伤修复溶液及其应用,一种光刻版表面损伤修复溶液包括重铬酸钾、水溶性铬盐、浓硫酸和水;光刻版表面损伤修复溶液的修复方法包括如下步骤:(1)将所述修复溶液加热并同时搅拌后,静置;(2)将光刻版放...
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