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多孔硅基多壁碳纳米管复合材料气敏传感器及其制备方法和应用技术
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文档序号:25121957
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本发明公开了一种多孔硅基多壁碳纳米管复合材料气敏传感器及其制备方法和应用,传感器包括大孔径的多孔硅基底、一层设置在所述多孔硅基底顶面边界处的Pt膜电极、与所述Pt膜电极连接以确保Pt膜电极与多孔硅基底之间实现欧姆接触的铜丝、电泳法沉积在所述...
该专利属于天津师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津师范大学授权不得商用。
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