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电磁感应型编码器制造技术
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文档序号:25121488
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本发明一种涉及电磁感应型编码器。该电磁感应型编码器包括各自具有大致平板形状的检测头和标尺。所述检测头和所述标尺彼此相对设置并且在测量轴方向上相对移动。所述标尺包括由在测量轴方向上周期地设置的导体形成的多个周期元件。所述多个周期元件利用导体耦...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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