下载一种适用于电子气工厂的制氮机的技术资料

文档序号:25121246

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本发明涉及电子气的技术领域,更具体地,涉及一种适用于电子气工厂的制氮机,包括空气过滤及压缩系统、空气预冷系统、空气纯化系统、换热器系统、氧氮精馏系统及后备系统:空气先进入空气过滤器去除杂质,后送往空气压缩机压缩,空气自下而上流出空气冷却塔进...
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