【技术实现步骤摘要】
一种适用于电子气工厂的制氮机
本专利技术涉及电子气的
，更具体地，涉及一种适用于电子气工厂的制氮机。
技术介绍
目前，随着电子气行业对氮气的性能要求越来越严苛，包括氮气供应连续性、氮气供应可靠性及氮气产品杂质含量等要求。现有的制氮机往往很难全方位满足电子气供气要求，具体而言：(1)现有制氮机在有设备宕机时，制氮机的运行都会受到不良影响，氮气供应连续性和可靠性难以保证；(2)现有制氮机无法去除氮气产品中的CO杂质，CO杂质的去除需要后续增加纯化器，设备复杂且难以保证氮气产品的纯度；(3)电子气客户用气往往具有独有的爬坡特性，用气量随机台和产线逐步增加而增加，且每一个用气量具有阶段性特征，爬坡持续时间往往需要1～2年，甚至更长，现有制氮机的负荷调节范围窄，导致大量能耗浪费。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种适用于电子气工厂的制氮机，可保证氮气供应的连续性及可靠性，且无需增设纯化器即可保证氮气产品纯度。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：提供一种...
【技术保护点】
1.一种适用于电子气工厂的制氮机，其特征在于，包括空气过滤及压缩系统(1)、空气预冷系统(2)、空气纯化系统(3)、换热器系统(4)、氧氮精馏系统(5)及后备系统(6)：/n所述空气过滤及压缩系统(1)包括空气过滤器(11)及空气压缩机(12)，所述空气过滤器(11)设有空气入口，所述空气过滤器(11)与空气压缩机(12)连接，所述空气压缩机(12)的出口端与空气预冷系统(2)的入口端连接，所述空气过滤器(11)及空气压缩机(12)均为至少两组；/n所述空气预冷系统(2)包括空气冷却塔(21)、水冷塔(22)、至少两台冷却水泵(23)、至少两台冷冻水泵(24)、及冷水机组(...
【技术特征摘要】
1.一种适用于电子气工厂的制氮机，其特征在于，包括空气过滤及压缩系统(1)、空气预冷系统(2)、空气纯化系统(3)、换热器系统(4)、氧氮精馏系统(5)及后备系统(6)：
所述空气过滤及压缩系统(1)包括空气过滤器(11)及空气压缩机(12)，所述空气过滤器(11)设有空气入口，所述空气过滤器(11)与空气压缩机(12)连接，所述空气压缩机(12)的出口端与空气预冷系统(2)的入口端连接，所述空气过滤器(11)及空气压缩机(12)均为至少两组；
所述空气预冷系统(2)包括空气冷却塔(21)、水冷塔(22)、至少两台冷却水泵(23)、至少两台冷冻水泵(24)、及冷水机组(25)，所述空气冷却塔(21)设有与冷却水泵(23)连接的冷却水进口以及与冷却机组连接的冷冻水进口，所述冷冻水进口位于冷却水进口上方，所述冷却水泵(23)与空气冷却塔(21)连接，所述水冷塔(22)、冷冻水泵(24)、冷水机组(25)及冷冻水进口顺次连通，所述空气冷却塔(21)顶部设有与空气纯化系统(3)连接的出气口，所述入口端设于空气冷却塔(21)的下部；
所述空气纯化系统(3)包括与所述出气口连通的吸附器(31)，所述吸附器(31)内设有用于吸附杂质气体的填料层，所述吸附器(31)的出口端与换热器系统(4)连通；
所述换热器系统(4)包括换热器(41)及过冷器(42)，吸附器(31)出口端的纯化空气经换热器(41)冷却到液化为温度后的液化空气进入氧氮精馏系统(5)；
所述氧氮精馏系统(5)包括自下而上设置的第一塔(51)、第一冷凝蒸发器(52)、第二塔(53)及第二冷凝蒸发器(54)，所述液化空气进入第一塔(51)精馏在第一塔(51)顶部得到纯氮气、在第一塔(51)底部得到富氧液空，所述过冷器(42)的一端与第一塔(51)底部连通，过冷器(42)的另一端与第一冷凝蒸发器(52)、第二冷凝蒸发器(54)连通，所述第一塔(51)的顶部与换热器(41)、第一冷凝蒸发器(52)连通，所述第一冷凝蒸发器(52)与后备系统(6)连接；
所述后备系统(6)包括顺次连接的自动调压切换系统、汽化器(61)、真空压力储槽(62)及液氮储槽(63)。
2.根据权利要求1所述的适用于电子气工厂的制氮机，其特征在于，所述空气过滤器(11)及空气压缩机(12)为两组，两组空气压缩机(12)并联设置，制氮机的负荷调节范围为30％～105％。
3.根据权利要求1所述的适用于电...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓韬，王开兵，钟小禹，刘巍，王君，全诗林，
申请(专利权)人：广州广钢气体能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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