温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种超薄透明介质膜厚度测量方法，属长度计量技术领域。本测量方法采用的光路由光源、反射棱镜、显微镜和光探测器组成，反射棱镜置于被测透明介质薄膜上。光源发出的入射光进入反射镜和透明介质膜后，返回反射棱镜，经反射棱镜反射后的光线进入显微...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。