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本发明属于机械精密测量技术领域，这种位移传感器包括一个幅值型标尺光栅，位于光栅一侧的平行光光源，位于另一侧的线阵ＣＣＤ器件，以及相应的驱动和信号处理电路。该传感器的线阵ＣＣＤ视场与光栅栅线方向成一夹角θ。其实现方法为利用与光栅栅线成θ角的Ｃ...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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