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绝对距离测量的波长扫描干涉系统及其信号处理方法技术方案
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文档序号:2511407
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本发明属于精密测量技术领域。包括由单模光纤连成一体的扫描光源,光纤耦合器、参考干燥仪及传感干涉仪,探测器,以及光电转换、放大滤波电路、A/D变换器,计算机数据处理单元。本发明使其结构更加简单合理,减少系统的损耗及干涉噪声,提高了系统的可靠性...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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